荷蘭光刻機禁令升級生效　被逼下的中國只有這一條路

荷蘭政府日前宣佈，從9月7日起，較先進的光刻機等設備，如果要出口到歐盟以外地區，必須獲得荷蘭的特別批准。9月6日，光刻機巨頭阿斯麥（ASML，又譯艾司摩爾）在官網發表聲明稱，荷蘭政府公布了浸潤式DUV光刻機出口新規，自9月7日起生效。

荷蘭的阿斯麥是全球最先進光刻機的唯一生產廠家。早在2018年，美國就向荷蘭政府施壓，要求阿斯麥停止向中國出口先進光刻機。近幾年，美國更是大棒揮舞，頻繁以「國家安全」為由，不斷收緊對華晶片出口管制措施。去年10月，美國單方面發布臨時最終規則，限制阿斯麥對華出口部分光刻機。

美國一直在逼荷蘭表態，荷蘭政府其實一直很猶豫，但從最終結果看，胳膊擰不過大腿。雖然這次禁令也說是「 必須獲得荷蘭的特別批准」，但執行上是怎麼一回事，還有待揭曉。

另據彭博社等媒體報道，荷蘭還計劃限制阿斯麥為中國客戶提供維修和維護半導體設備的服務，拒發新許可證。部分華文媒體很經常，指出這將導致中國此前購買的大批量光刻機，最快明年就可能變成「廢鐵」，無法運行。是否如此？

事實上，阿斯麥從今年年初開始已經有了調整。1月1日，阿斯麥發布聲明稱，荷蘭政府已於近期部分吊銷了向中國大陸出口部分晶片製造設備的許可證，涉及設備型號為NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統。EUV光刻設備早在2019年被禁運，此次被限制出口的2050i，2100i基本上可以視作當前最先進的一批DUV光刻機型號，廣泛應用於40nm以下的製程產能中，對應28nm、14nm、10nm、7nm四個主要製程節點。

如藉助多重曝光等技術，具備生產7nm製程晶片的能力，理論上能夠生產5nm製程晶片。過去，針對EUV的封鎖，更多是「威懾意義」。現在，對這批DUV設備的禁運，起到的效果更為直觀——包括成熟製程和部分先進製程在內的40nm以下的晶圓製造也被「卡脖子」。而今次意味着，ASML需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發運TWINSCANNXT:1970i和1980i DUV光刻機。

一年前，針對美日荷三國達成的限制中國先進設備出口協議，阿斯麥時任CEO温寧克（Peter Wennink）就曾在公開場合予以隱晦的否定：「你給中國施加的壓力越大，他們就越有可能加倍努力打造可以媲美阿斯麥的光刻機。」而在實際行動中，基於商業的考量，阿斯麥也在努力配合中國大陸客戶的要求，在禁令生效之前，努力「搶運」光刻機。

公開資料顯示，僅2023年10月，中國從荷蘭進口的光刻機數量就高達21台，總價值6.725億美元，此後的11月，中國又進一步進口了42台光刻設備，總價值高達8.168億美元。其中有16台光刻機是來自荷蘭，總價值7.627億美元。來自阿斯麥的三季度財報也顯示，來自中國大陸的銷售收入佔比由已經從一季度的8%和二季度的24%，翻倍增長到了46%。

據了解，光刻設備作為高度客製化的機型，幾乎不存在庫存，按照傳統慣例，廠商都是收到三四成所有的預付款才會開始動工。結合2023年下半年這麼大規模的出貨量來看，阿斯麥顯然將光刻機產能中的很大一部分都調配給了中國客戶。在後續的產品服務上，一位不願透露姓名的消息人士表示，即便是對於已經售往中國大陸的先進光刻機，在面臨美國的軟件、零部件斷供壓力時，阿斯麥仍在盡力延長技術人員在華的停留時間，配合售後服務。

不同於掌握晶片設計絕對話語權的英偉達，能以「特供AI晶片」繞開監管措施，阿斯麥光刻機的零部件高達10萬個，分別來自全球超過5000家供應商，其中最核心的光源，尤其是EUV光源，幾乎完全是由美國公司西盟（Cymer）所壟斷，即便次一級的DUV光源，雖然日本和中國的部分企業在不懈攻關，但距離阿斯麥的標準仍有差距，這也是美國有信心展開「長臂管轄」的根源所在。從這個角度來說，伴隨着新一輪禁令的落地，將中國晶片產業的發展過度押注在阿斯麥「繞開封鎖」上，無疑並不現實。

比起相信惡劣的外部環境會在未來有所好轉，「丟掉幻想，準備戰鬥」，才是國產晶片行業未來數十年的常態化主題。此前，華為旗艦Mate 60搭載麒麟9000S亮相，就曾引發外界種種猜測，各方拆解評測的結果顯示其綜合性能處於驍龍888（三星5nm）和驍龍8 Gen1（三星4nm）之間，和蘋果A13（台積電7nm+）相仿。保守估計，國內晶圓代工產業，已經事實上具備量產等效7nm製程晶片的能力，只不過結合對市場供給的表現推斷，這些先進工藝晶片的產能還在爬坡之中。

阿斯麥新任CEO富凱（Christophe Fouquet） 就抱怨，美國的這種限制，完全是不明智的，而且，「施加的限制越多，就越能促使對方自力更生。」阿斯麥最擔憂的，也正是這一點。

富凱的前任、前CEO温寧克就也公開表示，美國的限制，結果將適得其反，因為美國越是施加壓力，中國越有可能「加倍努力」，最後，中國將獨立製造出能與阿斯麥匹敵的最先進光刻機。這對阿斯麥與荷蘭來說，這到底是好事還是壞事?

確實，相比於產能擴張層面的顯性影響，更大的影響可能在於戰略層面——先進光刻系統的禁運，將帶動中國上下游產業鏈集體「去美化」，只是中國晶片製造業必須要把各個製程節點和產業環節「重走一遍」，因此要付出巨大的經濟代價和時間成本。但中國政府和產業界都已經有充分的預期和準備。