華為投資光刻機領域　成「科益虹源」第七大股東

據內媒《新浪科技》5日報道，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域，入股由中科院微電子所控股的北京科益虹源光電技術公司。

報道指，北京科益虹源光電技術公司日前發生了變化，註冊資金從1.2億元（人民幣，下同）增加到2.02億元，增長68%，主要是投資人多了，其中就有華為旗下的哈勃投資，佔股4.76%，成為第七大股東。

科益虹源的控股股東是中科院微電子所，持股26.6%，主要業務是光刻機三大核心技術之一的「光源系統」，是內地第一、全球第三的193nm ArF準分子雷射器企業。

科益虹源集成電路光刻光源製造及服務基地項目去年4月份開工，該項目由科益虹源投資建設，總投資5億元，建築面積1.2萬平方米，年產RS222型光刻準分子激光器、光刻用準分子激光器、405光纖耦合頭等各類設備30台。